Konpozan optik nan machin litografi

Konsepsyon optik gen yon pakèt domèn aplikasyon nan jaden an semi -conducteurs. Nan yon machin fotolitografi, sistèm optik la responsab pou konsantre gwo bout bwa limyè ki emèt pa sous limyè a ak previzyon li sou wafer la Silisyòm ekspoze modèl la sikwi. Se poutèt sa, konsepsyon an ak optimize nan konpozan optik nan sistèm nan fotolitografi se yon fason enpòtan amelyore pèfòmans nan machin nan fotolitografi. Sa ki anba la yo se kèk nan eleman yo optik yo itilize nan machin fotolitografi:

Objektif pwojeksyon
01 Objektif la pwojeksyon se yon eleman kle optik nan yon machin litografi, anjeneral ki gen yon seri de lantiy ki gen ladan lantiy konvèks, lantiy konkav, ak prism.
02 Fonksyon li se retresi modèl la sikwi sou mask la epi konsantre li sou wafer la kouvwi ak fotoresist.
03 presizyon ak pèfòmans nan objektif la pwojeksyon gen yon enfliyans desizif sou rezolisyon an ak bon jan kalite D 'nan machin nan litografi

Glas
01 Miwayo itilize pou chanje direksyon limyè a epi dirije li nan kote ki kòrèk la.
02 Nan ​​machin litografi EUV, miwa yo patikilyèman enpòtan paske limyè EUV fasil absòbe materyèl, se konsa miwa ak reflèktivite segondè yo dwe itilize.
03 presizyon nan sifas ak estabilite nan reflektè a tou gen yon gwo enpak sou pèfòmans nan machin nan litografi.

Filtè
01 filtè yo te itilize yo retire longèdonn vle nan limyè, amelyore presizyon an ak bon jan kalite nan pwosesis la fotolitografi.
02 Pa chwazi filtre ki apwopriye a, li ka asire ke sèlman limyè nan yon longèdonn espesifik antre nan machin nan litografi, kidonk amelyore presizyon an ak estabilite nan pwosesis la litografi.

Prism ak lòt konpozan
Anplis de sa, machin nan litografi pouvwa tou itilize lòt konpozan optik oksilyè, tankou prism, polarizers, elatriye, satisfè kondisyon litografi espesifik. Seleksyon an, konsepsyon ak fabrike nan eleman sa yo optik dwe entèdi swiv estanda yo ki enpòtan teknik ak kondisyon asire presizyon nan segondè ak efikasite nan machin nan litografi.

An rezime, aplikasyon an nan konpozan optik nan jaden an nan machin litografi gen pou objaktif pou amelyore pèfòmans lan ak efikasite pwodiksyon nan machin litografi, kidonk sipòte devlopman nan endistri a fabrikasyon mikwo -elektwonik. Avèk devlopman kontinyèl nan teknoloji litografi, optimize a ak inovasyon nan konpozan optik pral tou bay pi gwo potansyèl pou fabrike nan pwochen-jenerasyon bato.

Pou plis Sur ak konsèy ekspè, vizite sit entènèt nou an nanhttps://www.jiujonoptics.com/Pou aprann plis sou pwodwi nou yo ak solisyon yo.