Konpozan optik nan machin litografi

Konsepsyon optik gen yon pakèt aplikasyon nan jaden semi-conducteurs. Nan yon machin fotolitografi, sistèm optik la responsab pou konsantre gwo limyè ki emèt sous limyè a ak pwojte li sou wafer Silisyòm pou ekspoze modèl sikwi a. Se poutèt sa, konsepsyon ak optimize eleman optik nan sistèm fotolitografi a se yon fason enpòtan pou amelyore pèfòmans machin fotolitografi a. Sa ki anba la yo se kèk nan eleman yo optik yo itilize nan machin fotolitografi:

Objektif pwojeksyon
01 Objektif pwojeksyon an se yon eleman optik kle nan yon machin litografi, anjeneral ki fòme ak yon seri lantiy ki gen ladan lantiy konvèks, lantiy konkav, ak prism.
02 Fonksyon li se retresi modèl sikwi a sou mask la epi konsantre li sou wafer la kouvwi ak fotorezist.
03 Presizyon ak pèfòmans objektif pwojeksyon an gen yon enfliyans desizif sou rezolisyon ak bon jan kalite D nan machin litografi a.

Iwa
01 Miwayo itilize pou chanje direksyon limyè a epi dirije li nan kote ki kòrèk la.
02 Nan ​​machin litografi EUV, miwa yo patikilyèman enpòtan paske limyè EUV fasil absòbe pa materyèl, kidonk miwa ki gen gwo refleksyon yo dwe itilize.
03 Presizyon sifas ak estabilite reflektè a tou gen yon gwo enpak sou pèfòmans machin litografi a.

Filtè
01 Filtè yo itilize pou retire longèdonn limyè ki pa vle yo, amelyore presizyon ak bon jan kalite pwosesis fotolitografi a.
02 Lè w chwazi filtè ki apwopriye a, li ka asire ke sèlman limyè nan yon longèdonn espesifik antre nan machin nan litografi, kidonk amelyore presizyon ak estabilite nan pwosesis la litografi.

Prism ak lòt konpozan
Anplis de sa, machin nan litografi ka sèvi ak lòt konpozan optik oksilyè, tankou prism, polarizateur, elatriye, pou satisfè kondisyon espesifik litografi. Seleksyon, konsepsyon ak fabrike konpozan optik sa yo dwe estrikteman swiv estanda teknik ki enpòtan ak kondisyon pou asire presizyon segondè ak efikasite machin litografi a.

An rezime, aplikasyon an nan konpozan optik nan jaden an nan machin litografi gen pou objaktif pou amelyore pèfòmans ak pwodiksyon efikasite nan machin litografi, kidonk sipòte devlopman nan endistri a manifakti mikwoelektwonik. Avèk devlopman kontinyèl nan teknoloji litografi, optimize ak inovasyon konpozan optik pral bay tou pi gwo potansyèl pou fabrike pwochen jenerasyon chips.

Pou plis enfòmasyon ak konsèy ekspè, vizite sit entènèt nou an nanhttps://www.jiujonoptics.com/pou aprann plis sou pwodwi ak solisyon nou yo.