Konpozan optik nan machin litografi

Konsepsyon optik gen yon pakèt aplikasyon nan domèn semi-kondiktè yo. Nan yon machin fotolitografi, sistèm optik la responsab pou konsantre gwo bout bwa limyè ki emèt pa sous limyè a epi projeté li sou waf silikon an pou ekspoze modèl sikwi a. Se poutèt sa, konsepsyon ak optimize konpozan optik nan sistèm fotolitografi a se yon fason enpòtan pou amelyore pèfòmans machin fotolitografi a. Men kèk nan konpozan optik yo itilize nan machin fotolitografi yo:

Objektif pwojeksyon
01 Objektif pwojeksyon an se yon eleman optik kle nan yon machin litografi, anjeneral li konpoze de yon seri lantiy ki gen ladan lantiy konvèks, lantiy konkav, ak prism.
02 Fonksyon li se pou retresi modèl sikwi a sou mask la epi konsantre li sou waf la ki kouvri ak fotorezist la.
03 Presizyon ak pèfòmans objektif pwojeksyon an gen yon enfliyans desizif sou rezolisyon ak kalite imaj machin litografi a.

Miwa
01 Miwayo itilize pou chanje direksyon limyè a epi dirije l nan bon kote a.
02 Nan ​​machin litografi EUV yo, miwa yo patikilyèman enpòtan paske limyè EUV absòbe fasilman pa materyèl yo, kidonk yo dwe itilize miwa ki gen gwo reflektivite.
03 Presizyon sifas ak estabilite reflektè a gen yon gwo enpak tou sou pèfòmans machin litografi a.

Filtè
01 Filtè yo itilize pou retire longèdonn limyè endezirab, pou amelyore presizyon ak kalite pwosesis fotolitografi a.
02 Lè w chwazi filtè ki apwopriye a, ou ka asire ke se sèlman limyè ki gen yon longèdonn espesifik ki antre nan machin litografi a, kidonk amelyore presizyon ak estabilite pwosesis litografi a.

Prism ak lòt konpozan
Anplis de sa, machin litografi a kapab itilize tou lòt konpozan optik oksilyè, tankou prism, polarizè, elatriye, pou satisfè egzijans litografi espesifik. Seleksyon, konsepsyon ak fabrikasyon konpozan optik sa yo dwe swiv estrikteman estanda ak egzijans teknik ki enpòtan yo pou asire gwo presizyon ak efikasite machin litografi a.

An rezime, aplikasyon konpozan optik nan domèn machin litografi yo gen pou objaktif pou amelyore pèfòmans ak efikasite pwodiksyon machin litografi yo, kidonk sipòte devlopman endistri fabrikasyon mikwoelektwonik la. Avèk devlopman kontinyèl teknoloji litografi a, optimize ak inovasyon konpozan optik yo pral bay tou yon pi gwo potansyèl pou fabrikasyon chip pwochen jenerasyon an.

Pou plis enfòmasyon ak konsèy ekspè, vizite sit entènèt nou an nanhttps://www.jiujonoptics.com/pou aprann plis bagay sou pwodwi ak solisyon nou yo.